Planschleifen

Für die Fertigung von Grossserienteilen, die eine perfekte Planparallelität bei hoher Oberflächengüte aufweisen müssen, kommen Doppelplan-Schleifmaschinen zum Einsatz. Die verwendeten Schleifwerkzeuge werden heute meistens aus CBN und Diamant gefertigt, die mit niedrigem Arbeitsdruck und langen Schärfintervallen aufwarten.

Meister Vit CBN und Vit Diamant Werkzeuge in Pellet-Ausführung ermöglichen einen wirtschaftlichen Fertigunsprozess durch kurze Bearbeitungszyklen und extrem lange Standzeiten.

Planschleifen

Keramischgebundene CBN-Doppelplanschleifscheibe

Halbleiter-Industrie

Meister Abrasives Diamantschleifscheiben werden zum Schleifen von ultradünnen Siliziumwafern(<15µm) und anderen Halbleitermaterialien wie GaAs, Ge, SiC, GaN, AlN etc. eingesetzt.

Durch die spezielle Meister Vit DIA Bindungstechnologie werden die Wafer mit geringsten Schleifkräften bearbeitet. Daraus ergeben sich erhöhte Prozessqualität, weniger Tiefenschädigng, reduzierte Waferrandbrüche eine höhere Chip Ausbeute pro Wafer und weniger CMP Aufwand.